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QFL系列气浮运动台用于微纳加工

微纳加工技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件,以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。传统“宏”加工技术已不能满足“微”加工的高精度要求,必须研究和应用微纳加工的技术与方法,气浮运动台成为了行业内理想的选择方案。

瑞邦精控自主研发的气浮运动台,其产品特点:

1.非接触式气浮导轨结构

2.结构紧凑、亚微米级精度

3.高直线度和平面度指标

4.纳米级定位抖动

5.优化线缆管理系统

6.根据需求可定制

根据用户实际应用,可以选择单轴,双轴,三轴及定制等多种结构,如单轴结构,双轴十字叠层结构和三轴结构(XYZ三轴叠层,定龙门结构),行程、外形尺寸等都可以接受定制。

XY轴行程100mm*100mm,定位精度200nm,直线度和运动平面度优于1μm,定位抖动100nm内,可选Z轴用于激光焦距调整,平升Z轴行程5mm~20mm,侧升Z轴行程10mm~25mm,定位精度200nm,微动步距20nm。

 

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精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作,减少停机时间。同时使设备外观更整洁,创造良好的作业环境。

气浮轴承本质上与洁净室环境兼容,高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。